广州公司PECVD 等微观加工设备研发制造 ，中微总部基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀 、华南

近日 ，及生投资约 10 亿元 ，产基并持续拓展智能玻璃 、地期测试 、封顶本次封顶的广州公司一期项目占地约 50 亩，向着既定建成投产目标稳步推进。中微总部整体规划总投资 30 亿元 。华南装配功能于一体。及生

中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩 ，产基项目建设正式迈入机电安装与洁净工程施工新阶段 ，地期集研发 、封顶位于广州增城经济技术开发区的广州公司中微公司华南总部研发及生产基地一期项目实现主体结构圆满封顶 ，板级封装等新兴泛半导体装备赛道。